Volumen II - SAM

Congreso SAM/CONAMET 2009 Buenos Aires, 19 al 23 de Octubre de 2009
La zona de menor número de onda es comparable con los espectros observados por S.Yan y colaboradores
[3] en recubrimientos de Si3N4 sobre partículas de ZnS activadas con Cu lo que estaría indicando la
formación de nitruros sobre la superficie.
Se observan algunas bandas en la zona entre 2200 y 1700 cm -1 que pudieran ser atribuidas a grupos NO y/o
materia orgánica adsorbida.
Análisis por microscopía
En la figura 4 se muestra un espectro obtenido mediante la utilización de un microscopio electrónico de
barrido equipado con un sistema de microanálisis dispersivo en energía. El espectro se obtuvo utilizando un
potencial acelerador de 12 KeV, lo que permite poner de manifiesto más
claramente los elementos presentes en el recubrimiento superficial.
El análisis en superficie de un recubrimiento realizado sobre una muestra de M2 pone en evidencia el Si
presente en el recubrimiento.
En virtud del substrato utilizado, acero AISI M2, es posible observar la presencia de Fe del substrato.
Figura 4. Análisis con microscopio electrónico de barrido. EDAX.
De los estudios realizados, se infiere que las reacciones que dan origen a los recubrimientos serian:
(CH3)3SiNHSi(CH3)3 + N2 → Si3N4 + (a determinar).
Estas reacciones serían semejantes en ambos procesos.
TABLA I CONDICIONES PARCIALES DE PROCESO
Reactivo
y gas de
proceso
Z6079
N2
Z6079
N2
Z6079
N2
Caudal Potencia de
descarga
80sccm
10sccm
80sccm
20sccm
80sccm
30sccm
1200W
1200W
1200W
1200W
1200W
1200W
En todos los casos la temperatura del substrato fue de 750ºC y un potencial de BIAS de -150V
Los resultados de los procesos realizados sin potencial de BIAS y a temperatura de 500ºC presentaron
resultados no satisfactorios frente al ataque químico, por lo que no se consignan.
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