Volumen II - SAM

Congreso SAM/CONAMET 2009 Buenos Aires, 19 al 23 de Octubre de 2009
Propiedades mecánicas.
Dureza promedio en ambos casos es aproximadamente de 1 GPa.
Se verificó la adherencia al substrato por medio del método de cinta adhesiva. A fin de realizar este ensayo,
se probaron distintas cintas adhesivas hasta encontrar una que cumpliera los requisitos de la norma (fuerza
adhesiva 9.8 N para una superficie de contacto de 12 x 25 mm) y se realizaron ensayos con los tres
diferentes tiempos de remoción de la cinta, siendo la misma, para ambos procesos, satisfactoria. En todos los
sustratos ensayados, los resultados fueron semejantes.[4].
Características del proceso.
Se obtuvo una velocidad de deposición de 3 m/h con plasma de radiofrecuencia, y 4 m/h con plasma de
descarga continua. Lo que se destacó como relevante, en forma idéntica para ambos procesos, es la
temperatura del sustrato, las propiedades mecánicas de los recubrimientos, así como su resistencia al ataque
del KOH, dependen fundamentalmente de dicha temperatura, la que en ningún caso debe ser inferior a los
700ºC.
Se logró, en ambos procesos, un recubrimiento capaz de resistir el ataque de la solución de KOH en frío y
con soluciones calentadas a 80ºC, por un período de tiempo no inferior a las ocho horas, que son las
propiedades necesarias de la película para el uso buscado.
4. CONCLUSIONES
El estudio de los resultados obtenidos por EDAX y FTIR , (las fig. 3 y 4 corresponden a recubrimientos
hechos con radiofrecuencia, las fig. 5 y 6 corresponden a recubrimientos realizados con descarga
continua), indican que las especies químicas constitutivas de ambos recubrimientos son semejantes,
independientemente del proceso por el cual se obtuvieron y del sustrato utilizado.
Los resultados de dureza y adherencia son similares en ambos procesos, en todos los sustratos utilizados.
Si bien la velocidad de deposición es ligeramente diferente en dichos procesos, ambos logran los espesores
requeridos, obteniéndose en ambos casos un recubrimiento satisfactorio, lo que demuestra que ambos
procesos podrían ser utilizados indistintamente para la obtención de dichos recubrimientos.
Con las experiencias simultáneas en ambos procesos, no se apreció ventajas sustanciales de ninguno de ellos,
que indique como superior a un proceso determinado, ya sea radiofrecuencia, o descarga continua.
REFERENCIAS
1- Micromachined metal oxide gas sensors: Opportunities to improve sensor performance. Isolde
Simon, Nicolae Bârsan , Michael Bauer and Udo Weimar. Sensors and Actuators B 73 (2001)
Pags:1-26
2- Fabrication of Novel Three-Dimensional Microstructures by the Anisotropic Etching of (100) and
(110) Silicon. IEEE Transaction on Electronic Devices, Vol. 25 No. 10 (1978) 1178-1185.E.
Bassous.
3- S.Yan, H Maeda, J.-I- Hayashi, K Kusakabe, S Morooka y Y. Okubo (J. Mat. sc. 28, 1829, (1993).
linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/037673889400322P
4- Prueba de cinta adhesiva bajo la norma MIL-M-13830B, MIL MIL-PRF-13830BOPTICAL
COMPONENTS FOR FIRE CONTROL INSTRUMENTS; GENERAL SPECIFICATION
GOVERNING THE NAMUFACTURE ASSEMBLY AND INSPECTION OF (SUPERSEDING
MIL-O-13830A) Military Specifications and Standards / 09-Jan-1997 / 82 pages AMENDED by
MIL MIL-PRF-13830B Notice 2 - Reactivation
5- C. Lasorsa. J. Gimenez. C. Arrieta “Recubrimiento de nitruro de silicio (SixNy) para uso en
microcalefactores para sensores” 8 vo Congreso Internacional CONAMET/SAM 2008 Santiago de
Chile. Chile.
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